原位樣品桿進(jìn)腔前，一般不需要把整個(gè)腔體抽到高真空，但有幾個(gè)注意點(diǎn)：

先抽桿本體小體積真空或惰性氣體吹掃：很多原位桿帶有桿腔或小氣室，需要先用干凈惰性氣體吹掃，或用小型泵抽掉空氣，減少帶入腔體的雜質(zhì)和水分。

避免直接帶入大氣：直接把帶空氣的桿插入高真空腔，會(huì)瞬間增加腔體壓力，影響真空穩(wěn)定，并可能污染樣品或探測器。

腔體可維持中真空或保護(hù)氣氛：在一些 SEM/TEM 或原位實(shí)驗(yàn)中，腔體可先保持低真空、保護(hù)氣氛或背壓狀態(tài)，再慢慢把桿推進(jìn)，同時(shí)局部泵抽減少壓力波動(dòng)。

桿和樣品預(yù)處理：高真空實(shí)驗(yàn)中，建議桿和樣品表面清潔、干燥，有些實(shí)驗(yàn)還會(huì)先在烘箱中低溫預(yù)烘，減少吸附水分和揮發(fā)物帶入腔體。