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SEM 掃描電鏡樣品制備注意事項

日期:2026-04-17

掃描電鏡(SEM)的成像質量,很大程度取決于樣品制備是否規范。正確制備不僅圖像清晰,還能保護設備不受污染、延長使用壽命。

樣品必須保持干燥、潔凈、無松散顆粒。潮濕樣品會在真空下釋放氣體,導致真空度下降、成像漂移,還會污染腔體和探頭。表面油污、灰塵會掩蓋真實結構,造成圖像模糊、異常亮點。

導電性差的樣品必須做導電處理,否則會出現電荷積累,表現為圖像發亮、漂移、閃爍或細節丟失。處理時要均勻覆蓋,避免過厚掩蓋微觀結構。

樣品大小和高度要符合設備要求,固定必須牢固,防止在抽真空過程中松動、脫落,損壞探頭和內部組件。樣品高度不宜過高,避免撞擊鏡頭。

粉末樣品需均勻分散,不堆積、不脫落,必要時使用導電膠固定,防止粉末被吸入設備內部造成故障。

樣品制備完成后盡快觀測,減少在空氣中暴露時間,避免氧化或二次污染,保證成像真實、穩定。


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作者:澤攸科技