掃描電鏡成像時，入射電子束轟擊樣品表層，電子會在材料內(nèi)部發(fā)生散射，形成一定范圍的作用區(qū)域，電子束穿透深度由加速電壓和樣品基體材料屬性共同決定。穿透深度決定了信號的產(chǎn)生區(qū)域，二次電子大多來自樣品表層區(qū)域，背散射電子則來自更深的基體范圍，兩類信號會同步被探測系統(tǒng)接收，出現(xiàn)信息混疊現(xiàn)象。

當選用較高加速電壓開展觀測時，電子穿透深度增加，來自樣品下層的背散射信號占比提升，圖像里除表面形貌信息之外，還會疊加樣品內(nèi)部組分、晶粒分布相關的信息，表層細微形貌特征容易被掩蓋。降低加速電壓能夠壓縮電子作用區(qū)域，弱化深層信號，但也會帶來信號總量下降、信噪比降低的問題。不同品牌型號掃描電鏡的電子槍匯聚能力、物鏡磁場設計參數(shù)不一樣，相同加速電壓下電子束的束斑尺寸與散射范圍有區(qū)別，信號混疊的程度也會有所不同。在多層薄膜樣品、表面帶有薄覆蓋層的樣品觀測場景中，該效應會顯著改變圖像呈現(xiàn)效果，增加形貌辨識的難度。