掃描電鏡依靠聚焦電子束逐點掃過樣品表面，激發(fā)產(chǎn)生二次電子信號，通過信號探測器收集信號完成表面形貌成像。二次電子的出射方向與樣品表面傾角直接相關，樣品表面起伏變化會改變電子出射角度，進而改變抵達探測器的信號量，形成圖像上明暗變化的襯度信息。在實際成像過程中，探測器的接收角度固定，樣品表面不同位置產(chǎn)生的二次電子，抵達探測窗口的傳輸路徑存在差異，容易造成同一視場內信號采集不均勻。

樣品表面局部傾斜、臺階結構、凹槽內壁等位置，二次電子出射方向偏離探測器接收范圍，信號收集效率下降，對應區(qū)域圖像偏暗；凸起結構的朝向與探測器匹配，信號更容易被捕獲，圖像亮度更高。不同品牌型號的掃描電鏡，探測器安裝位置、接收立體角以及信號放大電路參數(shù)性能不同，相同樣品、相同加速電壓條件下，襯度表現(xiàn)會存在明顯區(qū)別。這類信號采集差異屬于形貌襯度的固有特性，在大視場全景成像、帶有大量高低臺階的樣品觀測時表現(xiàn)得更加突出，容易造成圖像局部明暗失衡，干擾對樣品真實形貌的判斷。