掃描電鏡（SEM）樣品的大小要求因所需觀察的特定特征而異，但通常樣品大小應(yīng)大于或等于數(shù)毫米，并且足夠薄以透過(guò)電子束。將樣品固定在一個(gè)具有導(dǎo)電性的基底上，例如金屬或碳涂層的載玻片。

SEM觀察需要樣品表面光滑，因此在樣品制備過(guò)程中，應(yīng)避免樣品的物理和化學(xué)處理對(duì)樣品表面造成損傷。對(duì)于高分辨率的SEM觀察，樣品的表面幾乎應(yīng)該是完全平坦的，并且不應(yīng)該有任何粗糙的紋理或凸起物。在制備SEM樣品時(shí)，還應(yīng)避免樣品表面的氧化或污染，因?yàn)檫@些都會(huì)干擾電子束的傳播并損害成像質(zhì)量。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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