臺式掃描電鏡開展高倍率微觀形貌觀測時，經(jīng)常會遇到圖像拖尾、局部重影的現(xiàn)象，細(xì)節(jié)輪廓出現(xiàn)拉伸虛化，原本清晰的顆粒邊界、裂紋紋路變得模糊不清，嚴(yán)重時測量尺寸會出現(xiàn)持續(xù)偏移，無法獲取穩(wěn)定可靠的微觀形貌照片。不同品牌型號臺式掃描電鏡的樣品臺傳動結(jié)構(gòu)、整機隔振配置、溫度補償機制存在明顯差異，同樣觀測條件下拖尾重影的表現(xiàn)程度各不相同，不能直接照搬參數(shù)設(shè)置作為統(tǒng)一處理依據(jù)。

引發(fā)該類現(xiàn)象的誘因可以分為外部環(huán)境、樣品自身、設(shè)備本體多個維度。外部環(huán)境層面，設(shè)備周邊持續(xù)的機械振動是十分常見的因素，周邊設(shè)備運轉(zhuǎn)、地面?zhèn)鲗?dǎo)震動，都會傳遞至樣品臺，在高放大倍率之下，極其微小的位移都會被成倍放大，直接反映在圖像上形成拖尾效果。環(huán)境溫度的持續(xù)波動同樣會帶來影響，溫度發(fā)生變化時，樣品臺、樣品底座會產(chǎn)生微小熱脹冷縮形變，掃描成像的周期之內(nèi)樣品位置發(fā)生細(xì)微偏移，進而出現(xiàn)重影虛影。

樣品層面，樣品固定不牢靠會造成該類問題，粉末、薄片類樣品如果僅簡單放置，沒有借助導(dǎo)電膠、夾具完成穩(wěn)固夾持，電子束持續(xù)照射帶來的微量熱積累，會讓樣品發(fā)生緩慢位移。部分基底材質(zhì)導(dǎo)熱性能較差，束流長時間定點照射，局部溫度持續(xù)升高，樣品產(chǎn)生微量形變，掃描過程中位置持續(xù)變動，成像畫面就會出現(xiàn)拖尾。

設(shè)備本體方面，樣品臺傳動部件存在間隙、傳動阻尼異常，在移動定位完成之后沒有充分靜置就直接啟動掃描，臺體還存在微小的殘余微動，高倍成像下就會體現(xiàn)為重影。探測器信號采集時序和掃描線圈掃描節(jié)奏匹配失衡，也會加重畫面拖尾假象，容易被誤判為樣品發(fā)生位移。日常操作時，高倍率觀測需要預(yù)留充足靜置時間，降低周邊環(huán)境振動干擾，做好樣品穩(wěn)固固定，以此降低拖尾重影發(fā)生概率。