臺式掃描電鏡在低倍觀測大范圍樣品區域時，圖像中心成像正常，但畫面四角出現拉伸、壓縮變形，邊緣物體輪廓扭曲，測量邊角位置樣品尺寸會出現明顯誤差。倍率越低，視場范圍越大，邊角畸變現象表現越突出，切換至高倍模式之后，畸變情況會明顯減弱甚至消失。

產生該現象主要來自掃描偏轉系統固有特性，電子束大角度偏轉掃描畫面邊緣區域，束斑入射角度發生偏移，束斑形狀產生形變，造成邊緣位置成像幾何失真。鏡筒內部電磁透鏡的殘余像差，在大視場掃描條件下會被進一步放大。樣品放置平面和掃描基準平面沒有保持平行，樣品傾斜，也會加重邊角位置的形變程度。

外部磁場干擾同樣會影響偏轉線圈工作狀態，加劇幾何畸變。不同設備的偏轉線圈校正算法、透鏡裝配精度存在區別，畸變表現程度不一樣。可以通過調平樣品工作臺，控制合理的觀測倍率區間，執行掃描畸變校正操作，以此改善圖像邊角變形問題。