臺式掃描電鏡觀測絕緣、弱導電類樣品時，畫面局部會出現(xiàn)不規(guī)則亮斑、成片過曝區(qū)域，部分場景還伴隨圖像局部扭曲偏移，這類現(xiàn)象大多來自樣品表面的荷電效應。亮斑會掩蓋樣品真實微觀形貌，干擾表面缺陷判別與尺寸測量，嚴重時還會對樣品表層造成不可逆損傷。

荷電效應的本質(zhì)是電子束持續(xù)轟擊樣品，輸入的電子無法及時導出，電荷在樣品局部不斷堆積，形成局部電場，進一步偏轉(zhuǎn)入射電子束與二次電子信號，成像出現(xiàn)異常。很多高分子材料、陶瓷、氧化物鍍層、玻璃類樣品本身導電能力弱，如果前期樣品處理不到位，就極易出現(xiàn)該類現(xiàn)象。即便完成導電鍍膜處理，鍍膜層厚薄不均、樣品尖角凸起位置鍍膜覆蓋率不足，依舊會產(chǎn)生局部荷電亮斑。樣品安裝時導電接觸不充分，樣品底座、導電膠貼合存在縫隙，電荷無法順利傳導至樣品臺，同樣會加重電荷積聚問題。

外部操作參數(shù)同樣會帶來明顯影響，加速電壓設置偏高、束流過大，會增大電子注入量，加劇荷電表現(xiàn)；掃描速度過慢，電子束長時間停留在同一位置，也會讓局部電荷持續(xù)累積。不同設備硬件條件存在差異，部分機型自帶荷電抑制功能，能夠一定程度緩解現(xiàn)象，但無法完全抵消樣品本身帶來的電荷堆積問題。環(huán)境濕度波動也會間接改變樣品表面微弱導電能力，使得同一批樣品時而出現(xiàn)亮斑、時而成像正常。