掃描電鏡在觀測帶有棱角、臺階結構的樣品時，樣品棱角周邊經常出現多余亮邊、虛影，偽影會覆蓋樣品真實邊緣細節，干擾對樣品輪廓、邊角缺陷的判斷，容易把偽影誤判成為樣品本身的結構特征。

該現象的產生和電子信號的收集路徑密切相關，電子束打在樣品陡峭邊角位置，除了垂直方向的二次電子，還會產生大量斜向逸出的二次電子與背散射電子，部分斜向發射的信號會直接被探測器捕獲，在圖像上生成超出真實邊界的亮邊虛影。樣品臺階落差越大，邊角越銳利，產生的偽影效果就越突出。

觀測參數選擇會進一步放大偽影，過高的加速電壓會提升電子穿透能力，激發更多側向散射信號，加重邊緣偽影表現。工作距離的變化同樣會影響信號接收范圍，不合適的工作距離會讓探測器更容易捕捉到斜向散射電子。同時樣品擺放傾斜角度，也會改變電子的散射方向，造成偽影強弱發生變化。不同設備探測器安裝位置、信號采集邏輯不一樣，面對同一樣品，邊緣偽影的表現形態與強弱也存在區別。