臺式掃描電鏡觀測絕緣類樣品時，畫面常會出現大面積發白、亮斑、圖像邊緣拖尾、線條虛化等現象，部分區域細節完全被強光掩蓋，無法識別樣品真實微觀形貌，調整對比度、亮度參數也難以消除該問題，是絕緣樣品觀測過程中十分常見的成像故障。

這類現象由樣品荷電效應造成。電子束持續轟擊絕緣樣品表面，入射電子不斷在樣品表面積累，而絕緣材料無法快速傳導釋放電荷，電荷持續堆積后形成局部靜電場。靜電場一方面會二次吸引入射電子，造成該區域接收電子數量異常增多，信號強度急劇升高，在圖像上呈現過曝亮斑；另一方面靜電場會偏轉二次電子的運動路徑，讓探測器采集到偏離目標區域的信號，造成圖像拖尾、輪廓變形。

樣品本身的厚度、表面粗糙度都會影響荷電程度，樣品越厚、表面凹凸落差越大，電荷越容易在臺階、孔洞邊緣聚集，亮斑也更容易集中在結構邊緣。同時觀測參數中的束流大小、掃描速度、加速電壓會直接改變電荷累積速率，高加速電壓搭配大束流觀測時，電子注入量更大，荷電現象會顯著加劇。如果樣品表面存在油污、水汽，還會造成局部導電能力不一致，出現隨機分布的點狀亮斑。

常規改善方式包含在樣品表面制備超薄導電層，搭建電荷釋放通道，減少電荷積聚；適當降低加速電壓與束流，提高掃描速度，減少單位面積接收電子總量；也可采用低真空觀測模式，借助腔內殘留氣體實現電荷中和，從而消除圖像發白、拖尾等荷電帶來的成像缺陷。