掃描電鏡長(zhǎng)期觀測(cè)有機(jī)樣品、含碳樣品時(shí)，容易出現(xiàn)電子束誘導(dǎo)污染，在樣品表面形成一層薄碳層，逐步降低圖像分辨能力。腔體內(nèi)部殘留的碳?xì)溆袡C(jī)分子，在高能電子束的轟擊下發(fā)生分解，分解后的碳組分沉積在電子束掃描區(qū)域，在樣品表面形成一層不透電子的碳污染層。隨著掃描時(shí)長(zhǎng)增加，污染區(qū)域會(huì)逐步擴(kuò)大，原本清晰的樣品微細(xì)結(jié)構(gòu)慢慢變得模糊，高倍成像下細(xì)節(jié)丟失，連續(xù)重復(fù)觀測(cè)同一位置，污染會(huì)持續(xù)加重，甚至覆蓋樣品表面微結(jié)構(gòu)，造成樣品不可逆損傷。

碳?xì)湮廴疚飦?lái)源比較廣泛，包含真空油脂揮發(fā)物、樣品本身釋放的有機(jī)小分子、樣品夾持工具帶入的污染物。樣品前處理不到位，沒(méi)有充分烘干、除氣，是現(xiàn)場(chǎng)常見(jiàn)誘因。不同品牌型號(hào)設(shè)備的真空系統(tǒng)性能參數(shù)不同，腔體本底真空水平、冷阱捕集能力有明顯差別，本底真空較差的設(shè)備，腔體有機(jī)分子濃度更高，污染生成速度會(huì)顯著加快。

想要抑制電子束誘導(dǎo)污染，需要從腔體環(huán)境、樣品預(yù)處理、觀測(cè)操作三個(gè)維度管控。樣品預(yù)處理階段，含揮發(fā)組分的樣品提前進(jìn)行烘干、除氣處理，減少樣品自身釋放有機(jī)氣體；避免使用含有機(jī)膠黏劑固定樣品，優(yōu)先選用導(dǎo)電膠并充分固化。設(shè)備維護(hù)方面，定期清潔腔體，檢查冷阱狀態(tài)，保證捕集揮發(fā)物的能力，維持高本底真空環(huán)境，減少腔體內(nèi)游離碳?xì)浞肿印Ｓ^測(cè)操作層面，高倍精細(xì)觀測(cè)前，先用低倍快速定位目標(biāo)區(qū)域，減少高束流、高倍下的定點(diǎn)照射時(shí)間；合理選擇束流大小，在滿足信噪比前提下盡量選用較低束流。如果樣品表面已經(jīng)形成污染層，輕微樣品可采用等離子體清洗做表面處理，去除沉積碳層，恢復(fù)樣品原始形貌。