掃描電鏡依靠高能電子束掃描樣品表面采集二次電子信號，對于絕緣樣品，入射電子持續在表面積累，容易產生荷電效應，是掃描電鏡成像過程中非常常見的成像缺陷，會直接干擾形貌觀測與尺寸測量。

現象：掃描電鏡成像畫面隨掃描時間緩慢漂移，圖像上出現無規律亮斑、暗斑，部分區域出現圖像拉伸、扭曲；調高放大倍數時漂移現象更加明顯，反復聚焦后圖像位置依舊偏移，更換加速電壓后斑塊分布發生變化，但無法消除。

成因：掃描電鏡電子束持續轟擊絕緣樣品，樣品表面電荷無法及時導走，不斷積累形成局部電場。該電場會偏轉入射電子束以及逸出的二次電子，改變信號采集位置與信號強度。不同品牌型號掃描電鏡的消荷電配件、低真空模式的性能參數存在明顯差異，部分機型低真空下的氣體電離中和能力有限，厚絕緣樣品依舊會出現荷電問題。樣品表面粗糙度不均也會造成電荷分布不一致，加劇明暗斑塊。

改善方案：使用掃描電鏡觀測絕緣樣品前，在樣品表面鍍一層薄導電膜，優先選用碳膜或者金鈀膜，保障電荷導出；啟用掃描電鏡低真空模式，利用腔體內殘余氣體電離產生離子中和表面積累電荷；適當降低掃描電鏡加速電壓，減小入射電子的穿透深度與電荷注入量；減小束流，降低單位面積電子注入速率；調整掃描采集參數，使用慢速掃描配合圖像平均功能，緩解瞬時電荷波動帶來的畫面抖動。