掃描電鏡腔體內(nèi)部殘留的有機(jī)碳?xì)浠衔铮诟吣茈娮邮丈湎聲?huì)發(fā)生分解沉積，在樣品觀察區(qū)域形成碳污染層，長(zhǎng)期觀測(cè)會(huì)逐步遮擋樣品原始形貌。

現(xiàn)象：在掃描電鏡同一位置持續(xù)聚焦觀測(cè)一段時(shí)間后，視場(chǎng)中慢慢出現(xiàn)深色圓形污漬，隨著觀測(cè)時(shí)長(zhǎng)增加污漬逐步擴(kuò)大；原本清晰的樣品微細(xì)邊緣慢慢變模糊，線條測(cè)量尺寸出現(xiàn)偏差；更換觀測(cè)位置后新區(qū)域成像正常，回到原位置污染痕跡仍然保留。

成因：掃描電鏡真空腔體內(nèi)壁、樣品臺(tái)、夾具上吸附有微量油氣、有機(jī)揮發(fā)物，電子束轟擊時(shí)，有機(jī)物發(fā)生裂解，碳元素沉積在電子束照射區(qū)域。不同品牌型號(hào)掃描電鏡的腔體真空等級(jí)、冷阱捕集能力參數(shù)不同，冷阱捕集效率不足的設(shè)備，碳污染產(chǎn)生速度會(huì)顯著加快。樣品本身帶有有機(jī)殘留污染物，會(huì)進(jìn)一步提升碳沉積速率。

改善方案：使用掃描電鏡前，充分清潔樣品臺(tái)、樣品夾具，去除表面油污與有機(jī)雜質(zhì)；開啟掃描電鏡配套冷阱裝置，吸附腔體內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物；盡量縮短掃描電鏡在同一點(diǎn)位的聚焦和觀測(cè)時(shí)間，不要長(zhǎng)時(shí)間定點(diǎn)轟擊樣品；樣品制備階段充分烘干除氣，減少樣品自身釋放的有機(jī)氣體；定期對(duì)掃描電鏡腔體開展烘烤除氣，降低腔體內(nèi)部碳?xì)浠衔锉镜缀俊?/span>