掃描電鏡依靠高能電子與樣品相互作用產生背散射電子信號來獲取成分襯度圖像，在多相組分、金屬合金、復合薄膜樣品觀測時，經常出現畫面明暗分布紊亂、同材質區域灰度不一致的現象，會干擾材料組分判斷與元素分布定性分析。該現象并不會隨著加速電壓簡單消失，即便樣品表面經過平整拋光處理，同一物相的不同位置依然出現明顯的明暗差異，部分區域還會伴隨緩慢的灰度漂移，長時間連續掃描時圖像襯度持續變化。這種襯度偏差的形成和探測器接收角度、樣品表面微觀傾角、樣品內部晶體取向都存在關聯，背散射電子的發射角度具備很強的方向性，當樣品表面存在微小的臺階、起伏或者晶粒取向差異時，相同組分區域的背散射電子逃逸方向不同，進入探測器有效接收窗口的電子數量隨之改變。不同型號掃描電鏡配備的背散射探測器布局、接收立體角、信號增益電路設計存在區別，環形探測器與分立分區探測器對傾角、取向帶來的襯度敏感度完全不一樣，部分機型探測器安裝位置偏置，對樣品傾斜角度帶來的信號波動會更加明顯。樣品內部的晶粒取向襯度也會疊加在成分襯度之上，即便元素組成完全相同的晶粒，因為通道效應，電子散射概率發生變化，在圖像上呈現明暗反差，很容易被誤判為成分上的區別。在多層膜、顆粒復合體系、燒結陶瓷樣品的表征工作中，這種混合襯度會掩蓋真實的組分分布信息，給相含量統計、界面分析帶來較大干擾，需要結合能譜信號共同對照，才能區分開取向襯度和成分襯度帶來的灰度變化。