掃描電鏡進行大視場寬范圍掃描成像時，會伴隨圖像幾何畸變以及畫面內的襯度漸變現象。掃描電鏡依靠偏轉線圈控制電子束在樣品表面逐點掃描，當掃描范圍擴大、偏轉角度持續增加，電子束不再垂直入射樣品表面，離視場中心越遠的位置，電子束入射傾角越大，束斑在樣品表面的投影會發生拉伸變形，形成枕形或者桶形畸變。同時二次電子的發射方向和樣品表面法線強相關，邊緣區域電子束斜入射，二次電子的出射方向隨之改變，探測器接收到的信號強度持續變化，造成圖像從中心向四周逐步變暗或者明暗過渡不均勻。這類效應和樣品本身形貌無關，屬于掃描偏轉系統的固有特性，不同品牌型號掃描電鏡的偏轉線圈校正算法、物鏡設計、動態聚焦補償能力各不相同，部分機型自帶大視場畸變校正模塊，可以削弱幾何變形，但很難完全消除襯度的平緩漸變。在需要拍攝大面積陣列、整片晶圓、大面積薄膜樣品的場景中，這種現象會帶來困擾，同一批結構在畫面中心和畫面邊緣呈現出不一樣的明暗觀感與外形尺寸，直接干擾尺寸測量與形貌對比，很多操作人員會將這種整體漸變誤認為是樣品表面成分不均勻或者鍍膜厚度不一致，給工藝問題溯源帶來干擾。