掃描電鏡（SEM）工作時對真空度要求較高，若真空度不夠（即腔室壓力偏高），會對成像質量和設備運行產生一系列不良影響，主要包括以下幾點：

1. 電子束散射增強，分辨率下降

真空不良時腔體內殘余氣體分子密度升高，電子束在傳播過程中更容易與氣體分子碰撞，導致束斑發散、電子軌跡偏移，影響聚焦，圖像模糊、分辨率降低。

2. 圖像穩定性差

氣體分子被電子束電離后產生的正負離子會在樣品或系統中積聚電荷，可能導致圖像漂移、閃爍或扭曲。

3. 信噪比降低

真空差時，二次電子和背散射電子在傳播過程中被氣體散射或吸收，導致信號減弱、噪聲增加，圖像對比度降低。

4. 樣品充電效應加劇

特別是對非導電樣品而言，電荷在表面難以中和，若真空不好，氣體分子在電子轟擊下產生更多游離離子，會加劇充電效應，導致圖像失真、亮斑或漂移。

5. 電子源壽命縮短

熱發射或場發射槍在真空不良的條件下工作，容易受到氣體分子的污染或轟擊，導致陰極污染、燒蝕，加快老化，影響發射效率和穩定性。

6. EDS等能譜分析失真

殘余氣體可能在電子束作用下引入背景信號或引起光譜漂移，影響定量分析準確性。

7. 可能引起系統報警或自動保護

真空度未達標時，SEM系統往往會限制高壓、關斷電子槍或中止掃描，以保護關鍵元件。