電子束光刻機開展大面積、長時間連續直寫作業時，會出現圖形位置逐步偏移，同一版圖前后書寫區域對位偏差變大，局部圖形錯位，尺寸精度持續下滑的情況。設備開機短時間作業狀態正常，隨著曝光時長增加，偏移現象逐步加重，重啟設備之后偏差會短暫緩解，再次長時間加工故障又會復現。

造成束流漂移有多方面誘因，電子槍部件持續工作產生熱積累，磁透鏡組件溫度發生微小變化，磁場輸出穩定性受到干擾，直接改變電子束的束斑位置；外部環境的溫度緩慢波動、地面低頻振動、周邊設備帶來的電磁干擾，也會持續對束流偏轉系統與載臺定位系統產生擾動。載臺運動過程中自身發熱，會帶來微小的熱形變，大面積加工時位移累積，進一步放大圖形位置偏差。

高壓供電模塊輸出的微小波動，也會造成電子束加速狀態不穩定，加劇位置漂移。不同設備的熱控能力、磁透鏡抗干擾設計、載臺溫控體系存在差異，發生漂移的程度、耐受連續曝光時長各不相同。作業前預留充足的設備熱機穩定時間，降低環境溫度起伏，規避電磁干擾源，定期完成束流與偏轉系統校準，可以有效緩解該類故障現象。