無掩膜光刻機采用逐點掃描、像素拼接的直寫成像方式，在制備細線條、尖角、圓弧結構時，極易出現圖形邊緣臺階狀鋸齒、毛刺粗糙問題，直接增大線邊緣粗糙度，導致后續刻蝕、剝離工藝出現邊緣缺陷，是微納直寫加工中普遍的工藝問題。該缺陷在小線寬、高密度陣列圖形中表現尤為突出，嚴重時會造成圖形失真、器件性能偏差。

邊緣鋸齒化主要由掃描機制、參數匹配與樣品狀態三大因素導致。直寫圖形由離散像素點拼接而成，當掃描步長過大、像素分辨率不足時，圓弧、斜線無法連續過渡，形成明顯臺階鋸齒；設備光強灰度調節單一，缺乏邊緣漸變曝光補償，圖形邊界曝光生硬，無過渡區，加劇邊緣粗糙。同時基底翹曲、表面高低起伏不均，會導致不同位置有效曝光劑量不一致，局部過曝、欠曝交替出現，進一步放大邊緣毛刺。不同品牌設備的振鏡掃描精度、灰度調制等級、像素平滑算法參數差異較大，是成品邊緣質量區別的關鍵因素。

改善圖形鋸齒缺陷可通過參數優化、算法補償、樣品預處理三步落地。根據目標線寬匹配掃描步長，精細結構區域啟用高分辨率掃描模式，縮小像素拼接臺階。開啟設備灰度平滑與邊緣補償算法，對斜線、圓弧、尖角區域做漸變曝光調制，柔化圖形邊界。加工前檢測基底平整度，對翹曲基底開啟全域高度擬合補償，保證整面聚焦與劑量均勻。優化版圖設計，對極小尖角做工藝倒角平滑處理，規避直寫像素極限帶來的畸形鋸齒。整套參數優化后，可顯著降低線邊緣粗糙度，提升微納圖形成型保真度。