臺式掃描電鏡觀測絕緣樣品時，圖像會發(fā)生緩慢漂移、局部扭曲變形，高倍率下該現(xiàn)象會更加突出，反復(fù)校正聚焦與像散也無法穩(wěn)定畫面，尺寸測量結(jié)果重復(fù)性差，嚴(yán)重時標(biāo)記點(diǎn)位持續(xù)偏移，難以完成長時間定點(diǎn)形貌觀測。不同品牌型號臺式掃描電鏡的電荷中和系統(tǒng)性能、電子槍束流穩(wěn)定性、探測器信號采集邏輯各不相同，在觀測相同絕緣試樣時，圖像漂移的幅度和扭曲程度存在明顯差異。

絕緣樣品本身不具備導(dǎo)電能力，電子束持續(xù)轟擊樣品表面，入射電子不斷在表面積累，電荷無法快速傳導(dǎo)釋放，逐步形成局部靜電場。靜電場會對后續(xù)入射的電子束產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)作用，改變電子束落點(diǎn)位置，直接引發(fā)圖像漂移和局部形變。樣品表面噴鍍導(dǎo)電層不均勻、鍍層存在針孔或者局部破損，會形成電荷泄放的薄弱區(qū)域，電荷會在破損位置持續(xù)堆積，造成區(qū)域性圖像畸變。電荷中和裝置參數(shù)匹配不當(dāng)，中和粒子通量與當(dāng)前束流不匹配，無法有效中和表面積累的多余電荷，不能抑制靜電場生成。束流設(shè)置過大，單位時間注入樣品的電子數(shù)量多，電荷累積速度加快，漂移現(xiàn)象會明顯加劇。環(huán)境溫濕度變化會輕微改變樣品表面的微弱導(dǎo)電特性，間接影響電荷消散速度。掃描速度較慢時，單區(qū)域停留時間變長，電荷持續(xù)堆積，圖像扭曲漂移問題會進(jìn)一步加重。