掃描電鏡觀測(cè)絕緣樣品時(shí)，樣品荷電是常見(jiàn)的成像干擾問(wèn)題。高能入射電子持續(xù)打在樣品表面，樣品本身導(dǎo)電能力弱，入射電荷無(wú)法快速導(dǎo)出，不斷積聚在表層，形成局部靜電場(chǎng)。這個(gè)電場(chǎng)會(huì)偏轉(zhuǎn)后續(xù)入射電子束，同時(shí)改變二次電子的收集軌跡，圖像上會(huì)出現(xiàn)大面積亮斑、明暗漂移，線條邊緣出現(xiàn)扭曲，嚴(yán)重時(shí)畫面閃爍，無(wú)法穩(wěn)定獲取形貌照片。

荷電現(xiàn)象的強(qiáng)弱，和樣品厚度、電阻率、加速電壓直接相關(guān)。樣品越厚、絕緣性越強(qiáng)，電荷積累速度越快；較高的加速電壓會(huì)增大電子注入量，進(jìn)一步加重荷電效應(yīng)。很多操作人員會(huì)選擇直接降低加速電壓來(lái)緩解問(wèn)題，但電壓過(guò)低會(huì)損失圖像分辨率，無(wú)法觀察精細(xì)微觀結(jié)構(gòu)。

常用的改善方式分為幾種，對(duì)樣品做噴金或者噴碳導(dǎo)電膜處理，在樣品表層構(gòu)建導(dǎo)電通路，把積累的電荷傳導(dǎo)至樣品臺(tái)；也可以選用低真空觀測(cè)模式，利用腔體內(nèi)殘余氣體中和表面積累電荷；還可以適當(dāng)減小束流、縮短單次掃描時(shí)間，減少單位面積接收的電子總量。實(shí)際觀測(cè)時(shí)需要根據(jù)樣品材質(zhì)、目標(biāo)分辨率綜合選擇方案，不同樣品對(duì)應(yīng)的處理方案效果差異較大。