掃描電鏡在長(zhǎng)時(shí)間觀測(cè)微小區(qū)域時(shí)，容易出現(xiàn)樣品表面碳污染問題。設(shè)備真空腔體內(nèi)殘留的碳?xì)溆袡C(jī)分子，在高能電子束的持續(xù)轟擊下發(fā)生分解，碳元素會(huì)沉積在電子束掃描的樣品點(diǎn)位上，在樣品表面形成一層黑色碳膜。碳膜會(huì)不斷加厚，遮擋樣品原本的微觀形貌，隨著觀測(cè)時(shí)間增加，圖像細(xì)節(jié)慢慢模糊，還會(huì)造成二次電子信號(hào)強(qiáng)度持續(xù)衰減。

碳污染不僅會(huì)破壞形貌觀察，還會(huì)影響能譜成分分析。沉積的碳層會(huì)疊加碳元素信號(hào)，干擾樣品原始元素含量的定量計(jì)算，造成測(cè)試數(shù)據(jù)失真。有機(jī)污染物來源較多，包括樣品本身揮發(fā)物、樣品夾持工具殘留油污、腔體內(nèi)密封材料緩慢釋放的氣體。

想要抑制碳污染，首先要做好樣品前處理，樣品充分烘干除氣，減少樣品自身揮發(fā)有機(jī)物；放入樣品前清潔樣品臺(tái)、夾持件，避免油脂殘留；提升腔體真空度，降低內(nèi)部碳?xì)浞肿訚舛取Ｓ^測(cè)策略上，盡量縮短定點(diǎn)束流照射時(shí)間，優(yōu)先在低倍下定位，找到目標(biāo)區(qū)域后再切換高倍觀察。不同腔體潔凈度條件下，污染沉積速率差別明顯，長(zhǎng)期精密測(cè)試場(chǎng)景需要定期開展腔體清潔維護(hù)。