掃描電鏡長時(shí)間連續(xù)采集圖像時(shí)，會出現(xiàn)二次電子信號衰減現(xiàn)象。現(xiàn)象表現(xiàn)為同一觀測區(qū)域圖像亮度逐步變暗，圖像信噪比持續(xù)下降，細(xì)微形貌特征逐漸模糊，反復(fù)在同一位置長時(shí)間掃描時(shí)該現(xiàn)象會快速加劇。不同品牌設(shè)備的探測器、收集極電壓設(shè)置以及真空腔體本底環(huán)境參數(shù)存在明顯差異，在低加速電壓觀測時(shí)，設(shè)備之間信號衰減速率區(qū)別更加顯著。

成因：電子束持續(xù)轟擊樣品表面，誘發(fā)表面碳污染沉積，碳層會阻擋二次電子逸出；樣品表面吸附的水汽、碳?xì)浠衔镌陔娮邮饔孟掳l(fā)生分解，持續(xù)在掃描區(qū)域形成絕緣薄膜；探測器長期工作溫度漂移，二次電子收集效率緩慢降低。

改善方案：提升腔體真空度，充分對樣品做預(yù)除氣處理，減少樣品表面揮發(fā)性雜質(zhì)；降低長時(shí)間觀測區(qū)域的電子束束流，縮短單點(diǎn)持續(xù)掃描時(shí)長；定期清潔腔體與探測器，校準(zhǔn)探測器收集電壓；對比不同設(shè)備本底污染水平，優(yōu)先選擇低本底腔體配置的機(jī)型。