掃描電鏡觀測具有高低落差的樣品時，容易出現圖像景深不足問題。現象表現為樣品凸起部位成像清晰，但凹陷底層區域失焦模糊，三維結構無法同時完整呈現，高倍率下該缺陷更加明顯。不同品牌設備物鏡設計、可變光闌配置參數不同，景深調節能力存在差距，大束流工況下差異會進一步放大。

成因：選用大孔徑光闌，會提升信號強度，但同時縮短景深；加速電壓過高，電子束焦深變短；樣品表面形貌起伏過大，超出當前參數下的有效焦深范圍。

改善方案：更換更小孔徑的物鏡光闌，延長有效景深；適當降低加速電壓，兼顧形貌襯度與焦深；采用傾斜樣品臺，減少樣品高度方向上的高差；結合設備參數選型，優先選用支持動態聚焦功能的機型，對高低不同區域分別做焦點補償。