電子束光刻機(jī)長(zhǎng)時(shí)間直寫過程中的版圖數(shù)據(jù)時(shí)序與束閘開關(guān)時(shí)序失配，會(huì)帶來圖形端點(diǎn)截?cái)嗷蛘咄衔驳默F(xiàn)象。電子束光刻機(jī)屬于串行直寫設(shè)備，系統(tǒng)需要將矢量版圖持續(xù)拆分為大量曝光單元，數(shù)據(jù)通路、圖形發(fā)生器、束閘驅(qū)動(dòng)電路之間存在固有的傳輸延遲，當(dāng)書寫速度持續(xù)拉高、單元曝光時(shí)間縮短到納秒量級(jí)時(shí)，時(shí)序上的偏差就會(huì)顯現(xiàn)出來。當(dāng)束閘關(guān)閉信號(hào)晚于掃描偏轉(zhuǎn)信號(hào)到達(dá)，電子束會(huì)在目標(biāo)圖形邊界之外繼續(xù)釋放電荷，形成向外延伸的拖尾；如果束閘提前關(guān)斷，則圖形末端劑量不足，出現(xiàn)端點(diǎn)缺損。這類偏差和電子光學(xué)系統(tǒng)本身的束斑質(zhì)量無關(guān)，主要來源于數(shù)字信號(hào)傳輸、驅(qū)動(dòng)電路響應(yīng)延遲、版圖分片策略，不同品牌型號(hào)電子束光刻機(jī)的數(shù)據(jù)處理架構(gòu)、束閘器件選型不同，對(duì)應(yīng)的時(shí)序偏差閾值也不一樣，在大面積拼接版圖、細(xì)線條陣列、分立納米點(diǎn)陣列這類結(jié)構(gòu)上更容易觀測(cè)到，持續(xù)累積之后會(huì)造成整片襯底上圖形端點(diǎn)形態(tài)的不一致。