電子束光刻機處理大尺寸版圖時，會把整體圖形拆分為多個獨立寫場完成分步曝光，再通過載臺移動實現(xiàn)圖形拼接還原，拼接錯位就是不同寫場銜接位置出現(xiàn)偏移、縫隙或者圖形重疊的現(xiàn)象，會直接造成微納結構斷線、尺寸偏移，讓整體圖形和原始設計出現(xiàn)明顯偏差，是大尺寸圖形加工過程中十分容易碰到的問題中國光學期...。

造成拼接錯位的誘因來源比較多元，載臺運動系統(tǒng)是首要影響因素，載臺移動過程中受到環(huán)境溫度波動會產(chǎn)生微量熱脹冷縮，即使微小的形變，放到納米級加工尺度上就會被放大成為肉眼可觀測的拼接偏差；載臺位置反饋元器件出現(xiàn)狀態(tài)衰減，也會造成每一次步進移動的實際位移和指令輸出存在差值，多次累積之后錯位現(xiàn)象會愈發(fā)明顯。

外部環(huán)境擾動同樣不可忽視，設備周邊存在的低頻振動會傳遞至整機，曝光過程中振動干擾電子束的偏轉軌跡，同時干擾載臺定位，使得相鄰寫場之間無法準確對齊。電子光學系統(tǒng)的束斑狀態(tài)變化也會帶來影響，不同寫場掃描階段束斑出現(xiàn)微小偏移、畸變，即便載臺定位完全準確，銜接處依舊會出現(xiàn)圖形錯位。另外版圖拆分處理不當，寫場邊界圖形布局不合理，也會加劇拼接位置的缺陷表現(xiàn)。不同設備的載臺控制精度、抗振動設計、溫度管控能力存在區(qū)別，出現(xiàn)拼接錯位的觸發(fā)條件與表現(xiàn)程度也會存在差異。